掃描探針顯微鏡是納米尺度表征的核心工具，其精密性依賴于系統性的養護。以下從環境控制、日常維護、定期校準、操作規范及故障處理五方面詳述養護要點。

　　一、環境控制：穩定性與潔凈度雙重保障

　　1. 溫濕度管理

　　- 溫度：實驗室溫度需維持在20-25℃(±1℃)，避免熱膨脹導致機械部件形變。建議配置恒溫系統，并遠離熱源(如陽光直射、暖氣)。

　　- 濕度：相對濕度控制在40%-60%。過高濕度易引發電子元件氧化，過低則可能產生靜電。可使用除濕機或干燥劑(如硅膠包)。

　　2. 振動隔離

　　- 放置于主動隔振臺或氣墊桌上，避免地面震動影響掃描精度。重型設備需獨立支撐，防止共振傳遞。

　　- 避免實驗室內大型設備(如離心機)同時運行，減少低頻振動干擾。

　　3. 潔凈度控制

　　- 操作區域需達到ISO 5級潔凈度，禁用粉末狀手套(如乳膠手套)，改用無粉尼龍或PVC手套。

　　- 定期清潔臺面，使用無塵布蘸酒精擦拭，避免纖維殘留。樣品臺每次使用后需用氮氣吹掃或酒精棉簽擦拭。

　　二、日常維護：細節決定壽命

　　1. 探針管理

　　- 存放：未使用的探針需置于防靜電盒中，存放于干燥器內(加硅膠干燥劑)，避免吸潮氧化。

　　- 檢查：使用前在光學顯微鏡下檢查針尖完整性，若發現磨損或污染，立即更換。

　　- 更換：佩戴指套操作，避免直接接觸探針涂層，安裝時確保探針垂直于樣品臺。

　　2. 樣品臺清潔

　　- 每次測試后移除樣品，用丙酮或乙醇超聲清洗固定裝置10分鐘，氮氣吹干后存放。

　　- 磁性樣品需退磁處理，防止吸附雜質影響后續實驗。

　　3. 光學系統維護

　　- 激光定位器需每月校準：調整激光光斑至探測器中心，確保四象限探測器信號平衡(偏差<5%)。

　　- 反射鏡用鏡頭紙輕拭，禁用有機溶劑，防止鍍膜損傷。

　　三、定期校準與深度維護

　　1. 機械校準

　　- Z軸校準：使用標準高度樣品(如硅片校準樣塊，厚度誤差<±0.5nm)，調整靈敏度至壓電陶瓷響應線性區。

　　- XY掃描器：檢查壓電陶瓷掃描范圍，通過步進電機回位校準，消除累積誤差。

　　2. 電氣系統檢

　　- 每季度測試接地電阻(<4Ω)，檢查屏蔽線纜是否破損，更換老化的BNC接頭。

　　- 功率放大器散熱片清灰，涂抹導熱硅脂提升散熱效率。

　　3. 軟件維護

　　- 定期更新控制軟件，修復漏洞并優化算法(如降噪濾波、漂移補償功能)。

　　- 備份自定義參數文件，防止誤操作導致設置丟失。

　　四、操作規范：預防性保護

　　1. 開關機流程

　　- 開機：先通外部電源，再啟動控制器，避免電流沖擊。預熱30分鐘穩定激光器及電路

　　- 關機：先退出程序，關閉控制器，最后切斷總電源。禁用直接斷閘，防止數據丟失。

　　2. 參數設置原則

　　- 掃描速度：根據樣品特性調整，脆性材料需降低速度(如0.5Hz)，軟樣品可適當提高(≤2Hz)。

　　- 探針力：從低載荷開始(如10nN)，逐步增加至圖像清晰，避免劃傷樣品或損壞探針。

　　3. 應急處理

　　- 突發斷電時，立即關閉總電源，重啟后檢查系統自檢狀態，必要時重新校準。

　　- 若探針碰撞樣品臺，需停機檢查懸臂是否彎曲，重新裝調探針

　　五、故障診斷與長效維護

　　1. 常見問題排查

　　- 圖像噪點：檢查接地是否良好，屏蔽線是否松動，增加濾波參數。

　　- 信號漂移：校準溫度傳感器，檢查樣品臺熱膨脹系數是否匹配。

　　- 探針異常振動：清潔 acoustic enclosure(隔音罩)，調整Q因子至0.1-0.3。

　　2. 長期停用保養

　　- 每月通電2小時防潮，使用干燥氮氣吹掃內部腔體。

　　- 關鍵部件(如掃描器、探測器)涂抹防銹油，覆蓋防塵罩。